上海積塔半導(dǎo)體10萬(wàn)風(fēng)量沸石轉(zhuǎn)輪架＋0.6萬(wàn)TO

一、業(yè)主介紹

上海積塔半導(dǎo)體有限公司是一家集成電路芯片和產(chǎn)品制造的高科技公司。旗下主要產(chǎn)品包括功率器件、電源管理、傳感器芯片，廣泛應(yīng)用于工控、汽車(chē)、電力、能源等領(lǐng)域。

 二、工藝流程

10萬(wàn)風(fēng)量沸石轉(zhuǎn)輪+0.6萬(wàn)風(fēng)量直接焚燒爐（TO）

三、沸石轉(zhuǎn)輪+直接焚燒爐設(shè)備的主要組成：

沸石轉(zhuǎn)輪裝置，引風(fēng)機(jī)，直接焚燒爐裝置，換熱器，煙囪  5個(gè)部分組成

四、沸石轉(zhuǎn)輪的工作原理:

濃縮轉(zhuǎn)輪區(qū)分為處理區(qū)、再生區(qū)和冷卻區(qū)，濃縮轉(zhuǎn)輪在各個(gè)區(qū)內(nèi)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

含有VOC的被處理空氣通過(guò)前置過(guò)濾后，送到濃縮轉(zhuǎn)輪的處理區(qū)。在處理區(qū)VOC被吸附劑吸附除去，空氣被凈化后從濃縮轉(zhuǎn)輪的處理區(qū)間排出。

吸附于濃縮轉(zhuǎn)輪中的VOC，在再生區(qū)經(jīng)熱風(fēng)處理而被脫附、濃縮（5~20倍的程度）。

而且濃縮轉(zhuǎn)輪在冷卻區(qū)被冷卻，經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)的空氣，再經(jīng)過(guò)加熱后作為再生空氣使用，達(dá)到節(jié)能的效果。

五、直接焚燒爐（TO）的工作原理：

工作原理：焚燒爐依據(jù)風(fēng)量，有機(jī)氣體濃度和期望的處理效率進(jìn)行設(shè)計(jì)。來(lái)自工藝的VOCs和有毒氣體吸入系統(tǒng)風(fēng)機(jī)后推進(jìn)殼管式換熱器的管側(cè)（通常用此設(shè)計(jì)）。里面的氣流通過(guò)燃燒機(jī)升溫到熱氧化反應(yīng)溫度（650-1,000℃/1,200-1,800℉），在0.5-2.0s內(nèi)進(jìn)行放熱反應(yīng)。廢氣在反應(yīng)室內(nèi)轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水汽并受到加熱。高溫的經(jīng)過(guò)凈化的氣體通常通過(guò)殼管式換熱器的殼側(cè)預(yù)加熱導(dǎo)入氣體。換熱器在系統(tǒng)維持在合適的低爆炸極限工作狀態(tài)時(shí)最小化系統(tǒng)燃料的消耗量。最后處理后的氣體排放到空氣中去。工藝廢氣中有硅樹(shù)脂的應(yīng)用中可以在廢氣通過(guò)燃燒機(jī)后經(jīng)換熱器的管側(cè)排除以方便維護(hù)和二氧化硅清理

六、項(xiàng)目照片